Principiu di l'incisioni a plasma

L’incisioni dû plasma accuppiatu ‘nduttivamenti (ICPE) è lu risurtatu di na cumminazzioni di prucessi chìmici e fìsici. Lu so principiu di basi è ca, sutta lu votu e la vascia prissioni, la radiufriquenza ginirata di n’alimentaturi RF ICP veni nisciuta a na bùgghia d’accuppiamentu turuidali. Un gas mistu di acquatura nna na certa prupurzioni è accuppiatu a na scarica lucenti, ginirannu un plasma a granni dinsità. Sutta la nfruenza dâ RF nna l’elittrodu di sutta, stu plasma bummarda la supirfici dû sustratu, rumpennu li ligami chìmici dû matiriali semicunnutturi nna l’aria mudellata dû sustratu. Sti sustanzi vulatili riaggisciunu cû gas di l'acquatura pi furmari cumposti vulatili, ca poi si siparanu dû sustratu comu gas e vennu pumpati fora dâ linia dû votu.