Apparecchiaturi a plasma virticali dû sustratu IC
L’attrizzatura a plasma virticali dû sustratu IC è pruggittata apposta pi pulizziari li sustrati IC nne prucessi di mmallaggiu IC tradizziunali, livannu particeḍḍi, ogghi e cuntaminanti di supirfici pi dari na supirfici di qualità auta pî passaggi di mmallaggiu succissivi. Lu sistema supporta l'upirazzioni cumpletamenti autumatizzata cû schermu tattili e lu cuntrollu dû PLC, pirmittennu na gistioni cumpleta dî paràmitri dû prucessu, lu monitoraggiu dû tempu riali, la gistioni dî ricippi e li nutificazzioni di allarmi.
Discrizzioni dâ funzioni
L'attrizzatura a plasma virticali dû sustratu IC è pruggittata apposta pipulizziari li sustrati CI nne prucessi tradizziunali di mmallaggiu CI, rimuvennu efficacimenti particeḍḍi, ogghi e cuntaminanti di supirfici pi dari na supirfici di auta -qualità pî succissivi passaggi di mmallaggiu. Lu sistema suportafunzionamentu cumpletamenti autumatizzatucu schermu tattili e cuntrollu PLC, pirmittennu na gistioni cumpleta dî paràmitri dû prucessu, monitoraggiu ‘n tempu riali-, gistioni dî ricippi e nutificazzioni di allarmi. È stàbbili, affidàbbili e fàcili d'usari, suddisfannu li riquisiti di auta-pricisiuni e auta-cunzistenza dî prucessi di mmallaggiu IC.
Cumpunenti principali (Cunfigurazzioni)
Valvuli sulunoidi ô votu
Àuta-qualitàValvuli sulunoidi di marca SVFassicurari na risposta rapida e nu cuntrollu stàbbili dû flussu di gas dâ càmira dû votu.
Prissionista e rigulatura
Cummuttatura e rigulatura di prissioni di granni pricisioni dû marchiu SMCfurniri nu cuntrollu accuratu dû votu e dâ prissioni dû gas, mantinennu nu rinnimentu dû prucessu coirenti.
Disignu di l'elettrodi
L'elettrodi sunnu fatti di nasìngula piastra di alluminnu massicciu cu nu centru scavatu, e li canali di rinfriscamentu ùsanufori prufunni-furnati cumminati cu deflettori a purtata pusizziunati 'n manera stratèggicapi guidari l'acqua di rinfriscamentu nta nu percorsu difinitu. Chistu garantisci na timpiratura uniformi di l’elittrodu, migghiurannu la cunsistenza e la ripitibbilità dû trattamentu plasmaticu.
Applicazzioni principali
L'attrizzatura è usata principalmenti piPulizia dû sustratu IC, cuntrullannu pricisamenti l’ambienti dû plasma pi livari particeḍḍi fini, risina residua e cuntaminanti urganici. Aumenta la pruduzzioni di l'impacchettatura IC e la cunsistenza dû pruduttu. Lu sistema è cumpatibbili cu sustrati di vari grannizzi e matiriali, suddisfannu li stritti riquisiti di pulizia e pricisiuni di prucessu dâ nnustria di l'imballaggi elittronici.
Spicificazzioni tècnichi
Liveddu di votu
Manteni20-50 Paduranti l’upirazzioni nurmali, garantennu n’ambienti di trattamentu plasmaticu stàbbili.
Mètudu dû flussu di gas
Usa nupruggettu di scàrricu supra-ingressu, sutta-brivittatucu deflettori di flussu pi garantiri nu flussu d'aria uniformi rintra la càmira e risultati di trattamentu coerenti.
Sistema di rinfriscamentu
Li canali di rinfriscamentu di l’elittrodi su’ pruggittati cu fori prufunni e diffirenti di flussu pi guidari l’acqua ncapu a nu percorsu priscrittu, garantennu na timpiratura uniformi di l’elittrodi e migghiurannu la stabbilità e la ripitibbilità dû trattamentu dû plasma.
Valuri di l'applicazzioni
L'apparicchiatura a plasma virticali dû sustratu IC duna nasuluzzioni di pulizia di supirfici assai efficienti, stàbbili e ntiliggenti. Ottimizzannu lu flussu d'aria ô votu e la pruggettazzioni di rinfriscamentu di l'elittrodi, migghiura assai la pruduzzioni di l'imballaggi IC e la cunsistenza dû pruduttu arriducennu ô stissu tempu li difetti dû prucessu e li munnizzi di pruduzzioni. Lu sistema è fàcili di usari e mantèniri, efficienti 'n termini di enirgìa e rispettuusu di l'ambienti, quinni è n'assi chiavi pî pruduttura di mmallaggi IC ca cercanu di migghiurari la pruduzzioni, assicurari na qualità custanti e mantèniri la stabbilità dî prucessi.
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